MicroProf

Řada přístrojů MicroProf je základní a zároveň nejpopulárnější modelovou řadou přístrojů firmy FRT, stovky těchto přístrojů jsou nainstalovány jak pro vědecké, tak průmyslové aplikace. Výhodou těchto metrologických přístrojů (optických profilometr)ů je vysoká spolehlivost (výroba probíhá v Německu, vývoj více než 20 let) a mnohostranná použitelnost. Díky své modulární konstrukci může být přístroj přizpůsoben nejrůznějším aplikacím, přístroj lze osadit několika měřícími senzor zároveň. Systém lze dále velmi jednoduše rozšiřovat a velmi důležitá je skutečnost, že tyto upgrady lze provádět přímo na pracovišti uživatele bez nutnosti vracet přístroj zpět k výrobci. Výrazným kladem toho přístroje je i možnost kompletní automatizace měření dle potřeby zákazníka, což tyto přístroje předurčuje i pro nasazení v průmyslu.

Mezi základní charakteristiky modelové řady přístrojů MicroProf patří:

  • možnost kombinovat více měřících senzorů v jednom přístroji (viz. video níže) 
  • schopnost se přizpůsobit specifickým požadavkům různých aplikací
  • vysoký výkon a spolehlivost
  • možnost kdykoliv přístroj modernizovat/modifikovat přímo v laboratoři uživatele
  • přístroj může být plně automatizován včetně automatizace analýzy dat 

Tato řada přístrojů má 3 základní modely

MicroProf 100

Základní, inovovaný model MicroProf 100 je metrologickým nástrojem pro rychlé a jednoduché měření topografie, tloušťky tenkých vrstev nebo tloušťky vzorků. Jedná se o kompaktní, stolní systém, který ale nabízí stejnou flexibilitu jako  vyšší modely MicroProf 200 a MicroProf 300. Navíc lze i tento přístroj vybavit TTV příslušenstvím pro měření vzorků z obou stran - vhodné například pro křemíkove wafery, nebo struktury vytvořené na jejich povrchu.

MicroProf 200

Tento model přístroje má nejvíce instalací z celého portfolia výrobků firmy FRT (více než 400 instalací). Přístroj umožňuje provádět rychlá, vysoce spolehlivá měření a vyniká v jednoduchosti obsluhy. Díky tomu je často instalován v průmyslu - automobilový průmysl, polovodičový průmysl atd. Mezi základní charakteristické rysy tohoto přístroje patří: 

  • vysoce výkonný hardware i software
  • nedestruktivní (bezkontaktní) metoda měření
  • Měření dle DIN-ISO a SEMI standardů
  • výkonný LED světelný zdroj s dlouhou životností
  • rychlost měřen až 4 kHz
  • velká měřící oblast 250 x 200 mm
  • vysoká rychlost pusunu stolku až 300 mm/sekundu
  • možnost rozšíření o přídavný bodový nebo plošný senzor
  • možnost rozšíření o IR měření nebo měření tloušťky filmů/povlaků
  • možnost plně automatizovaná manipulace s wafery (MHU příslušenství)
  • možnost vybavení software pro automatizaci měření, důležité pro průmyslové aplikace

MicroProf 300

Přístroj MicroProf 300 je největším přístrojem z řady MicroProf umožňující měřit plochu až do rozměru  415 x 305 mm. Je schopen sledovat submikronové odchylky na velkých vzorcích jaké jsou například křemíkové wafery. Mezi základní charakteristiky patří:

  • vysoce výkonný hardware i software
  • nedestruktivní (bezkontaktní) metoda měření
  • měření drsnosti, zvlněnosti (waviness), topografie, tloušťky filmu atd.
  • výkonný LED světelný zdroj s dlouhou životností
  • velká měřící oblast 415 x 305 mm
  • možnost rozšíření o široké spektrum měřících senzorů

Produkty


© 2017, RMI, s.r.o. – všechna práva vyhrazena

Prohlášení o přístupnosti | Podmínky užití | Ochrana osobních údajů | Mapa stránek

Webové stránky vytvořila eBRÁNA s.r.o. | Vytvořeno na WebArchitect | SEO a internetový marketing

Nahoru ↑